本帖最後由 江南布衣 於 2012-6-16 09:14 編輯
【寫作奈米結構與光】
納米多風的城市
研究人員在美國發明了一種新的和非常快速的方式製造納米大小的功能,在較大的表面區域。
光學納米光刻技術可用於快速原型微型設備,如光掩膜,電路和光子元件。
為了證明這一技術,研究小組用它來“繪製”小芝加哥天際線15000相同。
科學家們目前正在制定各種光刻技術用於製造納米級元件集成電路,光電子和醫療診斷設備,但這些方法最有先天的劣勢。
例如,“遠場“光學微影技術是有限的,所謂的光衍射極限,這意味著它是非常難以形成特色小於幾百納米。
技術基於“近場“掃描光學顯微鏡(待測光場)可以克服衍射極限通過將光源非常靠近地表,但他們是低的吞吐量,並且只能小範圍掃描一次。
這項新技術開發了乍得米爾金及其同事在芝加哥西北大學,被稱為光刻光束鋼筆(電力線寬帶) 。
它結合了待測光場為基礎的光刻技術與聚合物筆平版(脂肪酶) ,這也是發明和開發的乍得米爾金,於 2008年。
微小的PPL使用“鋼筆“開出的聚合物化學材料提供一個表面,而電力線寬帶提供光束到表面塗有感光材料。
陣列的金字塔
BPL使用數組的約 200名小金字塔形的鋼筆矽橡膠製成的聚合物製造納米和微模式隨著地區一樣大平方厘米。每個鋼筆有一個方形底座的措施數十微米長,逐漸變尖小費是只有60納米跨越。
金字塔功率:脂肪酶在行動為了使光筆,研究人員開始使用數組的金字塔形聚合物的提示,然後塗上薄薄的一層金。
接下來,他們帶來的秘訣接觸到載玻片塗有聚甲基丙烯酸甲酯。
這一步刪除了金層從每個頂點尖端留下一個開放暴露的矽橡膠裡面。
當光線照射到的是金字塔的底部(即開放以及) ,金字塔通道到技巧和良好的光束從出現的點金被刪除。
光筆可以用來打印高度精確的矽襯底上的模式預先塗有一層光刻膠,例如,通過觸摸到基板的提示20秒左右。
斷斷續續地
一個主要利用了新的提示是,可以改變它們的直徑從 5到500納米。
另一個優點是,一些鋼筆可以“關閉“,而別人是“打開“ ,允許不同的模式來打印。
作為驗證型實驗,莫金及其同事提請15000芝加哥天際線使用相同的技術。
每個天際線模式是由182個點,每個大約 500納米寬,這是大小的筆尖使用。
“待測光場一直在一個有吸引力的工具做光為基礎的納米光刻,但沒有一個人想出了一個功能方式將其擴大到現在為止, “米爾金說 physicsworld.com。 “通過使用新發明BPL和不透明金字塔陣列結構裸露透明的秘訣,我們已經克服了這個問題,並發明了一種方法做定制大面積納米和微型光刻技術。“
尼斯研究工具
浙南寶斯坦福大學,誰沒有參與這個工作,說:“這種技術是相當不錯的作為一個研究工具。一般而言,這是很難得到小於 1微米,大小的功能,在一個正常的大學潔淨室,除非電子,束光刻技術是用於電力線寬帶,但允許一個圖像的小功能在基材上,寫模式對現有功能的高清晰度照片。 “
電力線寬帶可能導致某種形式的“桌面打印機“的納米加工,增加了莫金。 “
這樣的工具將使研究人員能夠迅速原型和可能產生高清晰度的電子元件,直接在實驗室-無需發出的測試模式,以外部第三方的第一,這是發生什麼事了。“
該小組目前計劃興建的結構,其中每個鋼筆可以單獨解決的利用光調製器。
這項工作報告 自然納米技術。
關於作者
拜耳杜梅是一個促進編輯器 nanotechweb
引用:http://physicsworld.com/cws/article/news/43412
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